中圖儀器VT6000材料檢測共聚焦顯微鏡3D成像基于光學(xué)共軛共焦原理,，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量,，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,，可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,，可進行長度,、角度、半徑等尺寸測量,；

3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險,。

不同應(yīng)用場景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度,、面積,、體積等參數(shù)的檢測中。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

VT6000材料檢測共聚焦顯微鏡3D成像可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù),。

功能特點

1、測量模式多樣

單區(qū)域,、多區(qū)域,、拼接,、自動測量等多種測量模式可選擇，適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境,；

2,、雙重防撞保護功能

Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能,，雙重保護,；

3、分析功能豐富

3D：表面粗糙度,、平整度,、孔洞體積、幾何曲面,、紋理方向,、PSD等分析；

2D：剖面粗糙度,、幾何輪廓測量,、頻率、孔洞體積,、Abbott參數(shù)等分析,。

部分技術(shù)指標